内田泰芳、川島洋志、奈良一孝
概要
近年，PLC（planar lightwave circuit）部品は小型化や低コスト化などの要求を受けて導波路の高屈折率化の研究が行われている。これに伴い，我々は比屈折率差（Δ）が2.5%の石英系PLCの開発を行っている。しかし，Δが2.5%のPLCはシングルモードファイバとの接続損失が2.9dB/facetと大きいため，このままでは実用化は難しい。そこで，接続損失を下げるためのSSC（spot size converter）の開発が必要である。そこで，今回我々はコアサイズを水平方向と垂直方向へ広げた新しい遊雅堂 登録方法SSCを設計した。更に，PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）とシャドウマスクを組み合わせて遊雅堂 登録方法SSCを作製し評価した。その結果，遊雅堂 登録方法SSCを用いることでΔが2.5%の導波路とシングルモードファイバとの接続損失が0.06dB/facetまで大幅に低減できることを確認した。
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