用于保护晶圆表面的遊雅堂 キャッシュ，当接触酸或热时，其粘力变化微小。
可「耐受」酸性蚀刻和溅镀处理等工艺，保护晶圆表面。
特长
- 优越的防渗水，防酸性蚀刻性能
- 耐热性能可达150℃
规格
酸性蚀刻用遊雅堂 キャッシュ
| 遊雅堂 キャッシュ名称 | SP-594M-130 | SP-537T-160 | CP9003B-205B | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 基材厚度(µm) | 100 | 100 | 165 | ||
| 粘结剂厚度(µm) | 30 | 60 | 40 | ||
| 粘结力 (N/25mm) |
♯280-SUS | UV前 | 7.9 | 4.1 | 1.8 |
| UV后 | 0.1 | 1.0 | - | ||
| Si晶圆 | UV前 | 3.0 | 1.5 | NA | |
| UV后 | 0.1 | 0.1 | - | ||
| 特长 |
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（注） 以上数据是代表值，不是保证值
加热工艺用遊雅堂 キャッシュ
| 遊雅堂 キャッシュ名称 | SP6002T-115 | SP6101T-40 | ||
|---|---|---|---|---|
| 基材厚度(µm) | 75 | 25 | ||
| 粘结剂厚度(µm) | 40 | 15 | ||
| 粘结力(N/25mm) | ♯280-SUS | UV前 | 6.0 | 1.4 |
| UV后 | 0.3 | 0.1 | ||
| Si晶圆 | UV前 | 2.5 | 1.1 | |
| UV后 | 0.1 | 0.1 | ||
| 特长 |
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（注） 不对应背面研磨工艺 |
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（注） 以上数据是代表值，不是保证值
适应工艺
加热后粘力的变化
可以抑制加热后粘力的变化
（注） 以上数据是代表值，不是保证值
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