用于保护晶圆表面的遊雅堂 キャッシュ,当接触酸或热时,其粘力变化微小。

可「耐受」酸性蚀刻和溅镀处理等工艺,保护晶圆表面。

特长

规格

酸性蚀刻用遊雅堂 キャッシュ

遊雅堂 キャッシュ名称 SP-594M-130 SP-537T-160 CP9003B-205B
基材厚度(µm) 100 100 165
粘结剂厚度(µm) 30 60 40
粘结力
(N/25mm)
♯280-SUS UV前 7.9 4.1 1.8
UV后 0.1 1.0 -
Si晶圆 UV前 3.0 1.5 NA
UV后 0.1 0.1 -
特长
  • 防渗水
  • 耐酸性蚀刻
  • UV型
  • 防渗水
  • 耐酸性蚀刻
  • 段差跟踪性
  • UV型
  • 防渗水
  • 耐酸性蚀刻
  • 非UV型

(注) 以上数据是代表值,不是保证值

加热工艺用遊雅堂 キャッシュ

遊雅堂 キャッシュ名称 SP6002T-115 SP6101T-40
基材厚度(µm) 75 25
粘结剂厚度(µm) 40 15
粘结力(N/25mm) ♯280-SUS UV前 6.0 1.4
UV后 0.3 0.1
Si晶圆 UV前 2.5 1.1
UV后 0.1 0.1
特长
  • 最高耐热125℃
  • UV型
  • 最高耐热150℃
  • UV型
  • (注) 不对应背面研磨工艺

(注) 以上数据是代表值,不是保证值

适应工艺

加热后粘力的变化

可以抑制加热后粘力的变化

(注) 以上数据是代表值,不是保证值

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