バンプ付きウエハに対応した遊雅堂 入金 エラーンディング用テープです。

遊雅堂 入金 エラーを『埋める』高い追従性とウエハからの軽剥離性を両立します。

特長

仕様

テープ名 SP-537T-230 SP-544T-265 SP5207M-425 CP9206M-430
基材厚さ(µm) 100 100 420 420
粘着剤厚さ(µm) 130 165 5 10
粘着力(N/25mm) ♯280-SUS UV前 6.4 7.2 0.4 0.3
UV後 0.8 0.5 0.3 -
Si ウエハ UV前 2.5 5.9 0.2 NA
UV後 0.1 0.4 0.1 -
特長
  • 低遊雅堂 入金 エラー対応
    (~60μm)
  • UVタイプ
  • 低遊雅堂 入金 エラー対応
    (~80μm)
  • UVタイプ
  • 高遊雅堂 入金 エラー対応
    (~250μm)
  • UVタイプ
  • 高遊雅堂 入金 エラー対応
    (~250μm)
  • 非UVタイプ

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

適応工程

高バンプ対応遊雅堂 入金 エラーディングテープの詳細

構成

中間樹脂層と糊層の組み合わせにより、高遊雅堂 入金 エラーに対しても良好な追従性と軽剥離性を両立しています

テープ名 SP5207M-425 CP9206M-430
構成 基材 ポリエステル
ポリエステル
中間樹脂 ポリオレフィン ポリオレフィン
粘着剤 アクリル
(UVタイプ)
アクリル
(非UVタイプ)
離型フィルム ポリプロピレン ポリプロピレン
厚さ
(μm)
基材 50 50
中間樹脂 370 370
粘着剤 5 10
総厚 425 430
推奨UV照射量
(mJ/cm2)
500 -
推奨貼合温度
(℃)
70 70

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

テープ貼合後の追従性

適切な中間樹脂層の設計により、遊雅堂 入金 エラーへの高い追従性を実現しています。

ウエハの加工精度

良好なテープ厚み精度により、遊雅堂 入金 エラーディング時の優れた研削加工精度を実現します。

テープTTV

CP9206M-430

SP5207M-425

従来品

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

遊雅堂 入金 エラーディング後のウエハTTV

CP9206M-430

SP5207M-425

従来品

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

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