遊雅堂 クレカ 出金テープとは？
遊雅堂 クレカ 出金テープは半導体プロセスで使用される粘着テープです。主な用途は、バックグラインディング工程における半導体ウエハの表面保護、及び、ダイシング工程における半導体ウエハやパッケージ基板のフレームへの固定です。また、セラミックス、ガラス、サファイヤなど様々な材質のワークの保護や固定にも使用されています。
遊雅堂 クレカ 出金硬化反応の概要
遊雅堂 クレカ 出金テープに使用されている粘着剤は、一般的に以下の材料で構成されています。
- ベースポリマー
- オリゴマー
- 光開始剤
遊雅堂 クレカ 出金照射前の粘着剤層の状態
ベースポリマーは網目構造を有する高分子です。一方、オリゴマーは流動性を持ちベースポリマーの網目の中に混合した状態になっています。この状態において粘着剤層は柔軟であり、被着体表面に容易に馴染むことができます。これにより遊雅堂 クレカ 出金テープの粘着剤層は、遊雅堂 クレカ 出金照射前に強い粘着力を有します。
遊雅堂 クレカ 出金照射後の粘着剤層の状態
遊雅堂 クレカ 出金照射によってオリゴマー間で重合反応が起こり、新しい網目構造が形成されます。その結果、粘着剤層は二重の網目構造となって硬化し、粘着力が低下します。
遊雅堂 クレカ 出金ランプの種類と特徴
遊雅堂 クレカ 出金テープに適した遊雅堂 クレカ 出金光の波長は、一般的に250～400nmの範囲ですが、用いる遊雅堂 クレカ 出金ランプによって放射する遊雅堂 クレカ 出金光の波長領域が異なります。
メタルハライドランプ（推奨）
メタルハライドランプは、250～450nmの範囲で連続した紫外線を放射するランプです。
主な発光波長は365nmですが、それ以外の波長も多くでています。高圧水銀灯よりも発光波長が多いので、紫外線硬化反応に有利です。但し、高照度であるため、テープが熱の影響を受けることがあります。
高圧水銀灯（推奨）
365nmを主波長として254nm、303nm、405nm、436nm等の波長も効率良く放射するランプです。
ブラックライト
360nmのところにピーク波長があります。蛍光管の色が白いタイプと青いタイプとがあり、青いタイプの方が近紫外線である360nmを集中的に放射します。
蛍光灯であるため照度は低く、メタルハライドに対して約1/10～1/5です。
遊雅堂 クレカ 出金ランプの種類による波長領域の違い
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⾼圧⽔銀灯
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メタルハライドランプ
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ブラックライト
最適な遊雅堂 クレカ 出金照射条件は、どのように考えたら良いか？
最適な遊雅堂 クレカ 出金照射条件は、用いるテープや遊雅堂 クレカ 出金ランプの種類、およびウエハの表面状態等によって異なります。
弊社の遊雅堂 クレカ 出金テープの場合、技術資料に推奨遊雅堂 クレカ 出金照射量を記載してありますので、これをご参考に最適照射条件をご検討下さい。
遊雅堂 クレカ 出金照射量は積算光量として求められる値で、次式によって算出されます。
積算光量（mJ/cm2）＝照度（mW/cm2）× 照射時間（sec.）
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