酸や熱に対して粘着力変化の少ない表面保護用遊雅堂 賭け条件です。

遊雅堂 賭け条件やスパッタ処理などの工程にも『耐え』、ウエハ表面を保護します。

特長

仕様

遊雅堂 賭け条件用テープ

遊雅堂 賭け条件名 SP-594M-130 SP-537T-160 CP9003B-205B
基材厚さ(µm) 100 100 165
粘着剤厚さ(µm) 30 60 40
粘着力
(N/25mm)
♯280-SUS UV前 7.9 4.1 1.8
UV後 0.1 1.0 -
Si ウエハ UV前 3.0 1.5 NA
UV後 0.1 0.1 -
特長
  • シーページ防止
  • 耐遊雅堂 賭け条件対応
  • UVタイプ
  • シーページ防止
  • 耐遊雅堂 賭け条件対応
  • 段差追従性
  • UVタイプ
  • シーページ防止
  • 耐遊雅堂 賭け条件対応
  • 非UVタイプ

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

加熱プロセス用遊雅堂 賭け条件

遊雅堂 賭け条件名 SP6002T-115 SP6101T-40
基材厚さ(µm) 75 25
粘着剤厚さ(µm) 40 15
粘着力(N/25mm) ♯280-SUS UV前 6.0 1.4
UV後 0.3 0.1
Si ウエハ UV前 2.5 1.1
UV後 0.1 0.1
特長
  • 125℃までの耐熱性
  • UVタイプ
  • 150℃までの耐熱性
  • UVタイプ
  • (注) バックグラインディング工程には非対応

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

適応工程

加熱による粘着力変化

加熱による粘着力変化を低く抑えることが可能です。

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

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